特許
J-GLOBAL ID：200903026334631448
ウェハチャック及びそのチャック部の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-154611
公開番号（公開出願番号）：特開平8-023025
出願日： 1994年07月06日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：
【要約】【目的】 本発明はウェハチャック及びそのチャック部の製造方法に関し、ウェハ裏面へのパーティクルの付着を防止し、且つ安定してウェハを保持でき、さらにウェハの面内温度分布の均一化ができるウェハチャックを実現することを目的とする。【構成】 ウェハを吸着支持するチャック部12と、該チャック部12を接合して支持するベース部11とを具備してなるウェハチャックにおいて、上記チャック部12を、鏡面加工可能で且つ金属に比し熱伝導率の低い材料で形成するように構成する。
請求項（抜粋）：
ウェハを吸着支持するチャック部(12)と、該チャック部(12)を接合して支持するベース部(11)とを具備してなるウェハチャックにおいて、上記チャック部(12)を、鏡面加工可能で且つ金属に比し熱伝導率の低い材料で形成したことを特徴とするウェハチャック。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/08
, B23Q 7/04
, H01L 21/027
