特許
J-GLOBAL ID：200903026340521824
メニスカス コーティングの方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高木 六郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-343309
公開番号（公開出願番号）：特開平6-206027
出願日： 1993年12月17日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：
【要約】【目的】 多孔質アプリケーターを通してコーティング剤をコーティング目的物の表面上に流すことにより平坦な、又はわん曲した平面をコーティングする方法を開示する。【構成】 コーティング剤とコーティング目的物の表面との間の引力により多孔質アプリケーターと該目的物の表面との間にコーティング剤のメニスカスを維持する。例えば約1ミクロン以下のような薄い、均一な塗り厚と不規則表面を有する目的物の相似被覆とを得ることができる。この方法は例えばフラットパネル表示、光学装置、ケイ素及びゲルマニウムのウエハー、ならびにハイブリッド回路板のようなコーティング目的物に対して有用である。
請求項（抜粋）：
(a)静止した浸透性のアプリケーターの壁を通してコーティング剤を流して該アプリケーターの外側表面上に該コーティング剤の下降層流を生じさせる工程;(b)アプリケーターの外側表面上のコーティング剤とコーティング目的物の表面とを接触させて、該目的物の表面とアプリケーターの外側表面との間にコーティング剤のメニスカスを確立する工程;(c)該目的物の表面を、アプリケーターの外側表面を横切って概して水平方向に前進させる工程;及び(d)アプリケーターの壁を通してのコーティング剤の流れを維持して目的物の表面上にコーティング剤のコーティングを施す工程;を包含する目的物の表面をコーティング剤によりコーティングする方法において、目的物の表面をアプリケーターの外側表面を横切って前進させるに先立って、アプリケーターの外側表面上のコーティング剤の下降層流を停止することを特徴とする改良方法。
IPC (5件)：
B05C 1/02 101
, B05C 11/10
, B05C 13/02
, B05D 1/26
, B05D 1/28
