特許
J-GLOBAL ID：200903026343831417
インダクタ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-157731
公開番号（公開出願番号）：特開平11-354323
出願日： 1998年06月05日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：
【要約】【課題】 単位体積当たりのインダクタンスを増加させ、小型で高効率のインダクタを提供する。【解決手段】 チップ5上に、非磁性絶縁体4、スパイラル状コイル導体2、非磁性絶縁体3、磁性薄膜1を、下から順番に成膜してインダクタを構成する。この際、上記磁性薄膜1の厚さを、表皮深さの約1/10とする。
請求項（抜粋）：
基板上に積層形成されたスパイラル状コイル導体、このコイル導体の上に積層形成された非磁性絶縁体、この非磁性絶縁体の上に積層形成された磁性薄膜により構成されたインダクタにおいて、上記磁性薄膜の厚さが表皮深さの約1/10であることを特徴とするインダクタ。
IPC (5件)：
H01F 17/00
, H01F 10/08
, H01F 30/00
, H01L 27/04
, H01L 21/822
H01F 17/00 B
, H01F 10/08
, H01F 15/14
, H01L 27/04 L
