特許
J-GLOBAL ID：200903026347486200
レジスト廃液回収装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-259097
公開番号（公開出願番号）：特開平11-097333
出願日： 1997年09月24日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】 レジスト廃液を人手を介さず自動的にクリーンルーム外の廃液回収槽に回収することができる。【解決手段】 回転ロッドにより半導体ウエハが回転されてレジストが塗布される際、余剰のレジストが廃液となって液溜槽に落下して溜まる。当初、制御部により自動開閉バルブが締まっているため、廃液は廃液チューブの先頭から液溜槽の上限センサーの位置まで溜まり、この位置まで来ると、前記制御部により自動開閉バルブが開けられて、廃液が廃液チューブを通して廃液回収槽に流れる。廃液が液溜槽の下限センサーの位置まで来ると、制御部により自動開閉バルブが締まって、液溜槽に廃液が溜まりだす。以降その繰り返しで、クリーンルームの外の廃液回収槽に廃液が自動的に回収される。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハにレジスト処理を行うレジスト塗布装置から出る廃液を廃液回収槽に回収するレジスト廃液回収装置において、前記廃液を溜める液溜槽と、この液溜槽の底部に連通して内部の廃液を前記廃液回収槽に流す廃液チューブと、この廃液チューブの開口側に設けられて廃液チューブを開閉する開閉バルブと、前記液溜槽内の廃液量を検出するセンサー部と、このセンサー部により前記液溜槽の廃液量が上限に達したことが検出されると、前記開閉バルブを開き、前記廃液量が下限に達したことが検出されると、前記開閉バルブを閉じる制御を行う制御部と、を有することを特徴とするレジスト廃液回収装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 564 Z
, B05C 11/10
