特許
J-GLOBAL ID：200903026349175066
試料保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-041958
公開番号（公開出願番号）：特開平7-231032
出願日： 1994年02月15日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：
【要約】【目的】 減圧雰囲気下で試料の温度調節を正確に行うことができる試料保持装置を提供する。【構成】 減圧チャンバ71内で試料Sを所定温度に保って保持する試料保持装置1は、試料台10と、試料台10を所定温度に制御する温度制御手段20と、載置面11と試料Sとの間に所定流量でガスを供給するガス供給手段30と、載置面11と試料Sとの間のガス圧力を検知する圧力検知手段40とを備えてたものである。圧力検知手段40は、ガス供給手段30のガス供給管31に接続しかつ載置面11に形成された溝41と、溝41の一端に載置面11の下方から接続する圧力測定管42と、圧力測定管42に接続する圧力計43とからなる。これによって、載置面と試料との間のガス圧力が精度良く測定される。
請求項（抜粋）：
載置面に試料を載置して固定する試料台と、当該試料台の載置面を所定温度に制御する温度制御手段と、前記試料を前記載置面に固定した状態で当該載置面と当該試料との間に所定流量でガスを供給するガス供給手段と、前記載置面と前記試料との間のガス圧力を検知する圧力検知手段とを備え、減圧チャンバ内で試料を所定温度に保って保持する試料保持装置であって、前記圧力検知手段は、前記ガス供給手段のガス供給管に接続されると共に前記載置面に載置された状態の試料によって覆われる当該載置面の範囲内に形成された溝と、前記溝の一端に前記載置面の下方から接続する圧力測定管と、前記圧力測定管に接続し当該圧力測定管内のガス圧力を測定する圧力計とからなることを特徴とする試料保持装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68
, H01L 21/3065
