特許

J-GLOBAL ID：200903026351763862

異方性導電膜検出装置

発明者： 高桑 生一
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  東芝電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-068428
公開番号（公開出願番号）：特開平8-262472
出願日： 1995年03月27日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】 反射形の光電センサ41を用いて、櫛状電極部5上の異方性導電膜7を確実に検出する。【構成】 櫛状電極部5は、ベース6に金属膜を形成するとともにこの金属膜をエッチングして櫛状に形成してある。反射形の光電センサ41は、櫛状電極部5のピッチ方向でかつ斜め方向よりセンサ光S1を投光する。異方性導電膜7が無いときは、エッチングされた櫛状電極部5の各電極側面でセンサ光S1が反射し、その反射光を光電センサ41で受光する。異方性導電膜7が有るときは、異方性導電膜7の表面でセンサ光S1が光電センサ41側とは反対方向へ反射し、光電センサ41は反射するセンサ光を受光しない。光電センサ41が反射光を受光するか否かにて異方性導電膜7の有無を検出する。

請求項（抜粋）：

ベースに金属膜を形成するとともにこの金属膜をエッチングして櫛状に形成した櫛状電極部上に装着される異方性導電膜を検出する異方性導電膜検出装置において、前記櫛状電極部のピッチ方向でかつ斜め方向よりセンサ光を投光して前記異方性導電膜を検出する反射形の光電センサを備えたことを特徴とする異方性導電膜検出装置。

IPC (4件)：

G02F 1/1345 ,  G01M 11/00 ,  G01R 31/00 ,  G02F 1/13 101

FI (4件)：

G02F 1/1345 ,  G01M 11/00 T ,  G01R 31/00 ,  G02F 1/13 101