特許
J-GLOBAL ID：200903026357448004
弾性表面波素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-064511
公開番号（公開出願番号）：特開平5-267983
出願日： 1992年03月23日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：
【要約】【目的】 本発明は長期間、大電力での使用に際しても弾性表面波反射器、弾性表面波変換器の損傷を防ぎQの低下、挿入損失の増大、通過帯域の変化などの特性変化の小さい弾性表面波素子を形成することを目的とする【構成】 弾性表面波反射器、弾性表面波変換器の電極にチタンを0.01重量%以上5重量%以下含有させスカンジウムを0.01重量%以上5重量%以下含有させた電極を使用し、エレクトロマイグレーション、ストレスマイグレーションの発生を防ぐ。
請求項（抜粋）：
圧電性基板と、この圧電性基板上に設けられた入力電気信号を前記圧電性基板上を伝搬する弾性表面波に変換するための弾性表面波用変換器を備え、この弾性表面波変換器に対向して前記圧電性基板上に設けられた前記弾性表面波を反射する複数の金属ストリップを周期的に配列して構成される反射器を備え、前記弾性表面波変換器と弾性表面波反射器をチタンを0.01重量%以上5重量%以下含有させ、さらにスカンジウムを0.01重量%以上5重量%以下含有させたアルミニウムで構成することを特徴とする弾性表面波素子。
IPC (2件)：
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