特許
J-GLOBAL ID：200903026372632474
振動形角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-204749
公開番号（公開出願番号）：特開2000-039324
出願日： 1998年07月21日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：
【要約】【課題】 感度を大とする。【解決手段】 角形ビーム状振動体11の一側面に圧電形駆動手段14が設けられ、その両隣の側面に、それぞれ方形板状圧電体19の両端が細いスペーサ31,32を介して取り付けられ、圧電体19の両面の電極21,33が形成される。X方向駆動振動、Z軸まわりの角速度に対し、コリオリ力によりY方向に振動し、その振動周波数と、圧電体19の固有振動周波数との差だけの振幅倍率で、圧電体19の歪みが共振増幅される。
請求項（抜粋）：
振動体と、その振動体を振動する駆動手段と、各速度入力により生ずるコリオリ力によって発生する前記振動体の変形又は変位を検出する検出手段とを備え、前記検出手段の部分は前記コリオリ力によって前記変形または変位を共振増幅する構造である振動形角速度センサにおいて、前記検出手段自体が共振増幅する構造とされていることを特徴とする振動形角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
2F105BB02
, 2F105BB08
, 2F105CC01
, 2F105CC04
, 2F105CC06
, 2F105CD02
, 2F105CD03
, 2F105CD06
, 2F105CD13
, 2F105CD20
