特許
J-GLOBAL ID：200903026374397332
超純水中の微粒子測定用膜等の洗浄方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本多 小平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-095167
公開番号（公開出願番号）：特開平9-276672
出願日： 1996年04月17日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：
【要約】【課題】 測定用膜に付着している汚染微粒子を高率に洗浄除去して、超純水中に含有される微粒子の測定に有効に用いることができる測定用ろ過膜を提供する。【解決手段】 超純水製造装置で製造された超純水の通水により該超純水中に含まれる微粒子を捕捉して測定する測定用膜の洗浄方法であって、超純水を電気分解して得られる電解カソード水により前記測定用膜を洗浄する。
請求項（抜粋）：
超純水製造装置で製造された超純水の通水により該超純水中に含まれる微粒子を捕捉して測定する測定用膜を洗浄する方法であって、超純水を電気分解して得られる電解カソード水により前記測定用膜を洗浄することを特徴とする超純水中の微粒子測定用膜等の洗浄方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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