特許
J-GLOBAL ID：200903026376809360
感光性樹脂組成物、それを用いた感光性フィルム及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小林 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-275745
公開番号（公開出願番号）：特開2005-037755
出願日： 2003年07月17日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：
【課題】 微細なパターンに対して、優れた解像度性を有すると共に、優れた耐熱性、耐薬品性、耐水性、耐溶剤性、金メッキ耐性及び電気絶縁性を発現するアルカリ現像型フォトソルダーレジストとして好適な感光性樹脂組成物、及びそれを用いた感光性フィルムの提供。【解決手段】 フェノール性水酸基を有する重量平均分子量 300〜30000のアルカリ可溶性重合体(a1)と、重合可能な二重結合及びイソシアネート基を有する化合物(a2)とを、化合物(a2)のイソシアネート当量/重合体(a1)の水酸基当量比を0.1〜0.8の範囲として反応させて得られるアルカリ可溶性樹脂(A)、フェノールフィラー(B)、光重合性モノマー(C)及びエポキシ基を有する光重合性を有しない化合物(D)を含有する感光性樹脂組成物、支持体上に上記感光性樹脂組成物からなる層が積層されている感光性フィルム及び該感光性フィルムの製造方法。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
フェノール性水酸基を有する重量平均分子量300〜30000のアルカリ可溶性重合体(a1)と、重合可能な二重結合及びイソシアネート基を有する化合物(a2)とを、化合物(a2)のイソシアネート当量/重合体(a1)の水酸基当量比を0.1〜0.8の範囲として反応させて得られるアルカリ可溶性樹脂(A)、フェノールフィラー(B)、光重合性モノマー(C)及びエポキシ基を有する光重合性を有しない化合物(D)を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F7/027
, C08F290/08
, G03F7/004
G03F7/027 513
, C08F290/08
, G03F7/004 501
, G03F7/004 512
2H025AA02
, 2H025AA06
, 2H025AA07
, 2H025AA08
, 2H025AA10
, 2H025AA20
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC32
, 2H025BC42
, 2H025BC52
, 2H025BC66
, 2H025BC72
, 2H025BC92
, 2H025CA01
, 2H025CA27
, 2H025CC20
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 4J027AA08
, 4J027AH03
, 4J027BA28
, 4J027CA10
, 4J027CC03
, 4J027CC05
, 4J027CD10
出願人引用 (1件)
審査官引用 (8件)
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