特許
J-GLOBAL ID：200903026379024747
静電気評価用モノリシツク集積回路
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-246691
公開番号（公開出願番号）：特開平5-063045
出願日： 1991年08月31日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】【目的】 アッセンブリ工程等においてモノリシック集積回路に印加される静電気の電圧及び静電気が印加される外部端子等を調べる。【構成】 コンデンサ4〜7は、例えば絶縁膜の厚さを制御する等の方法により所定の静電気耐量を有するように形成されている。そして、各コンデンサ4〜7は、外部端子3e〜3hに接続されている。【効果】 アッセンブリ工程に投入し、その後各コンデンサの状態を調べることにより、アッセンブリ工程において集積回路に印加される静電気の評価を行なうことができる。
請求項（抜粋）：
所定の静電気耐量を有し外部端子に接続された複数の素子を備えていることを特徴とする静電気評価用モノリシック集積回路。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 31/26
, H01L 27/04
