磁気エンコーダー用磁気センサー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤卓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-142755
公開番号（公開出願番号）：特開平8-334379
出願日： 1995年06月09日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：

【要約】【目的】磁気インピーダンス効果を利用した磁気センサーであって、磁気エンコーダー用として好適な磁気センサーを提供する。【構成】着磁媒体14は長手方向に所定の着磁ピッチPで交互に逆極性に着磁され、磁気センサーに対し相対的に長手方向に移動する。磁気センサーの非磁性基板10上に帯状の高透磁率磁性膜12が形成され、その長手方向に沿う1辺には、所定長の枝部12aが着磁ピッチPと等ピッチで互いに平行に複数突出して形成されている。磁性膜12の長手方向を媒体移動方向に沿わせて磁性膜12を媒体14に平行に対向させ、磁性膜12に対し両端の端子16A,16Bから高周波電流を印加し、媒体14からの磁束により磁性膜12の両端部間に発生するインピーダンスの変化を電気信号に変換して出力を得る。

請求項（抜粋）：

所定の着磁ピッチで交互に逆極性に着磁され、該着磁の連続する方向に相対的に移動する着磁媒体の磁界を磁気インピーダンス効果により検出する磁気エンコーダー用磁気センサーであって、非磁性基板上に帯状の高透磁率磁性膜が形成され、前記磁性膜の長手方向に沿う2辺の少なくとも一方には、所定長の枝部が前記着磁ピッチと等ピッチで互いに平行に複数突出して形成されており、前記磁性膜の長手方向を着磁媒体移動方向に沿わせて該磁性膜を着磁媒体に平行に対向させ、該磁性膜に対し両端部から高周波電流を印加し、着磁媒体からの磁束により該磁性膜の両端部間に発生するインピーダンスの変化を電気信号に変換して出力を得られるようにしたことを特徴とする磁気エンコーダー用磁気センサー。

IPC (3件)：

G01D 5/245 , G01R 33/09 , H01L 43/00

FI (3件)：

G01D 5/245 Y , H01L 43/00 , G01R 33/06 R

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