特許
J-GLOBAL ID：200903026387767309
搬送アーム
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-320938
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129418
出願日： 1991年11月07日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：
【要約】【目的】ごみの発生の少ないフロッグレッグ型の搬送アームを安価に提供する。【構成】第1伝達手段20により、第1アーム11の回転を第4アーム14に伝達する。同様に、第2伝達手段30により、第2アーム12の回転を第3アーム13に伝達する。【効果】第4アーム14および第3アーム13の駆動手段が不要となる。このため、真空中使用の場合、磁気シール等のシール機構が減らせる。また、ベルト伝達機構を使用していないので、ごみの発生を減少させることができる。さらに、第1伝達手段のリンク機構および第2伝達手段のリンク機構が異なる位相で駆動するので、搬送アームの死点を回避することができる。
請求項（抜粋）：
被搬送体を載置する載置部を直線的に移動させる、フロッグレッグ型の搬送アームであって、両端を支点とし、その一端を中心として回転する第1アームと、両端を支点とし、その一端を中心として回転する、前記第1アームと支点間の長さが同一の第2アームと、両端を支点とし、その一端が、前記第1アームの他端に回転自在に支持された、この第1アームと支点間の長さが同一の第3アームと、両端を支点とし、一端が、前記第2アームの他端に回転自在に支持された、この第2アームと支点間の長さが同一の第4アームと、前記第3アームの他端および第4アームの他端に回転自在に支持された前記載置部と、前記第1アームの回転と前記第4アームの回転とを連動させるためのリンク機構を有する第1伝達手段と、前記第2アームの回転と前記第3アームの回転とを連動させるためのリンク機構を有する第2伝達手段と、を具備することを特徴とする搬送アーム。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 9/06
, H01L 21/302
