特許

J-GLOBAL ID：200903026388596370

基板洗浄装置

発明者： 森田 彰彦 ,  大谷 正美
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-032652
公開番号（公開出願番号）：特開平10-223592
出願日： 1997年01月31日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】 炭酸ガスが混入されて比抵抗値が調整された超純水を基板の表面へ吐出して基板の洗浄を行う場合において、基板の種類が変更された際に超純水の比抵抗値の設定変更忘れや設定間違いが起こる心配の無い装置を提供する。【解決手段】 吐出ノズル12から基板Wの表面へ吐出される超純水の比抵抗値を設定し入力してその設定値をメモリ36に記憶させておき、その設定値に基づいて、CPU32からの信号により比抵抗値制御手段30からCO2圧調整手段20へ制御信号を送ってCO2圧調整手段を自動調節し、超純水の比抵抗値が所望値となるようにCO2混入手段16によって超純水に炭酸ガスを混入させる。

請求項（抜粋）：

基板の表面へ超純水を吐出する吐出ノズルと、この吐出ノズルへ超純水を供給する超純水供給路と、この超純水供給路の途中に介設され、前記吐出ノズルへ供給される超純水の比抵抗値が所望値となるように超純水に炭酸ガスを混入させる炭酸ガス混入手段とを備え、前記吐出ノズルから吐出される超純水によって基板の洗浄を行う基板洗浄装置において、前記吐出ノズルから吐出される超純水の比抵抗値または超純水に混入させる炭酸ガス量の設定値を入力するための設定入力手段と、この設定入力手段によって入力された設定値を記憶する記憶手段と、前記炭酸ガス混入手段によって超純水に混入される炭酸ガスの量を調節する調節手段と、前記記憶手段に記憶された設定値に基づいて、前記炭酸ガス混入手段によって炭酸ガスが混入された超純水の比抵抗値が所望値となるように前記調節手段を制御する制御手段とを設けたことを特徴とする基板洗浄装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B08B 3/02

FI (3件)：

H01L 21/304 341 N ,  H01L 21/304 341 S ,  B08B 3/02 A