特許

J-GLOBAL ID：200903026401069571

変位検出装置及び変位検出方法

発明者： 桂 伸一 ,  本屋 ▲啓▼一
出願人/特許権者： 桂 伸一 ,  本屋 啓一
代理人 (1件)： 島田 義勝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-110251
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285527
出願日： 1995年04月12日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】 低コストで、かつ、高精度に被測定物の位置及び角度等の変位を検出する変位検出装置及び変位検出方法を提供すること。【構成】 被測定物Sとなる同心円状回折格子に対して所定位置から所定の角度をもってレーザ光を照射するレーザ光照射手段2とレーザ光照射手段2から被測定物Sに対して照射されたレーザ光の0次回折光を受光する第一受光手段3とレーザ光照射手段2から被測定物Sに対して照射されたレーザ光の高次回折光を受光する第二受光手段4とを備え、第一受光手段3と第二受光手段4との受光位置に基づいて被測定物Sの位置及び角度の変位量を検出するように構成する。

請求項（抜粋）：

被測定物となる同心円状回折格子に対して所定位置から所定の角度をもってレーザ光を照射するレーザ光照射手段と、前記レーザ光照射手段から前記被測定物に対して照射されたレーザ光の0次回折光を受光する第一受光手段と、前記レーザ光照射手段から前記被測定物に対して照射されたレーザ光の高次回折光を受光する第二受光手段と、を備え、前記第一受光手段と前記第二受光手段との受光位置に基づいて前記被測定物の位置及び角度の変位量を検出してなることを特徴とする変位検出装置。