特許
J-GLOBAL ID：200903026402628426
カセット載置装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-152679
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335729
出願日： 1994年06月09日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】 カセットを載置したり取り出したりするための作業スペースをクリーンベンチ内に確保せずに済むようにするとともに、カセット載置台を円滑に変位できるようにする。【構成】 装置本体8に摺動変位可能にスライドレール9,10を設けるとともに、そのスライドレール9,10に、基板を多段に収容するカセット5を載置するカセット載置台11を取り付け、スライドレール9,10により支持した状態で、カセット載置台11を装置本体8上の基板の搬出入位置Aと装置本体8上から外れたカセット5の着脱位置Bとに変位可能に設ける。
請求項（抜粋）：
装置本体に、基板を多段に収容するカセットを着脱可能に載置するカセット載置装置であって、前記カセットを載置するカセット載置台を、前記装置本体上の基板の搬出入位置と前記装置本体上から外れた前記カセットの着脱位置とにわたって一連の支持ガイドを介して変位可能に設けたことを特徴とするカセット載置装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 7/00
, B65G 49/07
