ダイシング装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-337879
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141308
出願日： 2000年11月06日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】本発明は、ウォータカーテン形成用ノズル又はエアーカーテン形成用ノズルを備えたダイシング装置において、ウェーハの交換を容易に行うことができるダイシング装置を提供する。【解決手段】本発明によれば、カッティングテーブル18に保持されたウェーハ16の交換時において、ブレード20をY方向に移動させるY方向移動装置52によって、ウォータカーテン形成用ノズル22及びエアーカーテン形成用ノズル24を、加工部14の側方位置に移動させる。これにより、両ノズル22、24はカッティングテーブル18の上方に存在しないので、両ノズル22、24はウェーハ16の交換に邪魔にならず、ウェーハ16の交換が容易になる。

請求項（抜粋）：

半導体ウェーハを保持するテーブル及び該テーブルに保持された半導体ウェーハを切断するブレードを備えた加工部と、該加工部の上方に配置されるとともに前記テーブルに保持された半導体ウェーハに向けて洗浄水を噴射しウォータカーテンを形成するウォータカーテン形成用ノズル、又は前記加工部の上方に配置されるとともに前記テーブルに保持された半導体ウェーハに向けてエアーを噴射しエアーカーテンを形成するエアーカーテン形成用ノズルと、前記ウォータカーテン形成用ノズル又はエアーカーテン形成用ノズルを、前記加工部の上方位置と加工部の側方位置との間で進退移動させるノズル移動手段と、を備えたことを特徴とするダイシング装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-215505
特開平4-240749
特開平2-215505

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