特許

J-GLOBAL ID：200903026416491067

静電チャック

発明者： 平松 靖二 ,  伊藤 康隆
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 安富 康男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-136200
公開番号（公開出願番号）：特開2001-319966
出願日： 2000年05月09日
公開日（公表日）： 2001年11月16日
要約：

【要約】【課題】 セラミック基板および/またはセラミック誘電体膜中にカーボンが含まれている場合でも、静電電極がこのカーボンと反応することがないため、長期間使用してもチャック力を安定して維持することができる静電チャックを提供する。【解決手段】 セラミック基板上に電極が形成され、上記電極上にセラミック誘電体膜が設けられた静電チャックであって、上記静電電極は、導電性セラミックからなることを特徴とする静電チャック。

請求項（抜粋）：

セラミック基板上に電極が形成され、前記電極上にセラミック誘電体膜が設けられた静電チャックであって、前記電極は、導電性セラミックからなることを特徴とする静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  B23Q 3/15

FI (4件)：

H01L 21/68 R ,  H01L 21/205 ,  B23Q 3/15 D ,  H01L 21/302 B

Fターム (18件)：

3C016GA10 ,  5F004BB22 ,  5F004BB26 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA17 ,  5F031HA18 ,  5F031HA33 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031JA01 ,  5F031JA46 ,  5F031MA28 ,  5F045AF03 ,  5F045EK09 ,  5F045EM05 ,  5F045EM09 ,  5F045EM10