特許
J-GLOBAL ID：200903026418654010

半導体ヨーレイトセンサ

発明者：
今井 正人

今井 正人 について


出願人/特許権者：
日本電装株式会社

日本電装株式会社 について


代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-077151
公開番号（公開出願番号）：特開平6-288773
出願日： 1993年04月02日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【目的】 S/Nの向上を図ることができる半導体ヨーレイトセンサを提供することにある。【構成】 シリコン基板の一部に当該基板と離間した梁構造が形成されている。その梁の先端に形成した錘の一面と同錘面と対向する基板壁面に交流電力が加えられ、静電気により錘が励振する。そして、当該錘の励振方向に対し直交する軸方向において錘の一面と同梁面と対向する基板壁面に電極が対向配置され、当該対向電極間の容量の変化が電気的に検出されて同方向に働くヨーレイトが検出される。発振器67と差動増幅器69により、搬送波にヨーレイト検出用電極からの信号が重畳される。又、バンドパスフィルタ70は中心周波数が搬送波と一致し、差動増幅器69からの信号が通過する。
請求項（抜粋）：
半導体基板の一部に当該基板と離間した梁構造を形成し、その梁の先端に形成した錘の一面と同錘面と対向する基板壁面に交流電力を加えて静電気により錘を励振させ、当該錘の励振方向に対し直交する軸方向において錘の一面と同梁面と対向する基板壁面に電極を対向配置して当該対向電極間の容量の変化を電気的に検出して同方向に働くヨーレイトを検出するようにした半導体ヨーレイトセンサにおいて、搬送波にヨーレイト検出用電極からの信号を重畳するAM変調回路と、中心周波数が前記搬送波と一致し、前記AM変調回路からの信号を通過させるバンドパスフィルタとを備えたこと特徴とする半導体ヨーレイトセンサ。
IPC (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
引用特許：
審査官引用 (24件)
  • 特開昭61-139719
  • 特開昭61-139719
  • 特開昭57-160067
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