特許
J-GLOBAL ID：200903026418928470
硬質材料の被覆方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-039763
公開番号（公開出願番号）：特開平6-093417
出願日： 1993年03月01日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】【目的】 Taおよび/またはNbのような層を蒸着するために、特に有利で、技術的に問題のない方法を提供する。【構成】 永久磁石システムを備えたカソード2は、硬質材料の蒸着用のマグネトロンカソードを形成する第1のカソードと、基板4のエッチング用、およびTaおよび/またはNbの遷移層の形成用に使用する第2のカソードと、マグネトロンカソードとして作用する第3のカソードからなる。第2のカソード2を使用して、基板4のエッチング前処理を行った後、再び第2のカソード2を使用して遷移層を形成する。この工程の間、TaまたはNbイオンが基板に注入され、遷移層または固着層が形成される。その後、磁石システムをマグネトロンカソードシステムに変え、Taおよび/またはNb層を遷移層上に蒸着する。
請求項（抜粋）：
TiN,TiCN,ZrN,ZrCN,HfN,HfCN,TiAlN,TiAlCN,TiZrN,TiZrCN,TiNbN,TiNbCN,CrNおよびCrCNの少なくとも一つからなる硬質材料層を、基板の少なくとも一部に形成する前に、TaおよびNbからなる十分にイオン化した金属蒸気内におけるアーク法によるエッチング工程中に、基板表面をTaおよび/またはNbイオンで富化することを特徴とする、物理蒸着法による硬質材料の被覆方法。
IPC (2件)：
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