可変容量コンデンサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：広瀬和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-037379
公開番号（公開出願番号）：特開2003-243254
出願日： 2002年02月14日
公開日（公表日）： 2003年08月29日
要約：

【要約】【課題】静電容量の変化量を十分に大きくできると共に、静電容量をコントロールする制御回路を簡略化できるようにする。【解決手段】基板1には、四角形状の浅段差部3と、この浅段差部3よりも一段低い位置に四角形状の深段差部5を設ける。また、可動電極2は、固定端側となる電極パッド2Aが基板1の表面1Aに固着された片持ち梁として構成する。また、基板1には、可動電極2と直交して基板1の表面1Aから浅段差部3の溝底3Aまで延びる駆動電極4を固着して設ける。さらに、基板1には、可動電極2と直交して基板1の表面1Aから深段差部5の溝底5Aまで延びる検出電極6を固着して設ける。これにより、可動電極2と検出電極6との間の電極間隔W1を、可動電極2と駆動電極4との間の電極間隔W2よりも大きく設定する。

請求項（抜粋）：

基板と、固定端側が該基板に設けられ自由端側が該基板に対して垂直方向に変位する可動電極と、該可動電極と対向する位置で前記基板に設けられ該可動電極の自由端側を垂直方向に変位させる駆動電極と、該駆動電極よりも前記可動電極の自由端側に位置して前記基板に設けられ前記可動電極の自由端側との間の電極間隔に応じて静電容量が変化する検出電極とからなる可変容量コンデンサにおいて、前記基板と可動電極のうち少なくとも一方の部材には、前記可動電極と検出電極との間の電極間隔を前記可動電極と駆動電極との間の電極間隔よりも大きく形成してなることを特徴とする可変容量コンデンサ。

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