特許
J-GLOBAL ID：200903026423429555
高品質多層膜およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-297099
公開番号（公開出願番号）：特開平7-151901
出願日： 1993年11月26日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：
【要約】【構成】結晶性のTa酸化物を含む層を少なくとも1層有する多層膜および該Ta酸化物を含む層がプラズマガスを含む低圧力の真空中で製膜されることを特徴とする多層膜の製造方法。【効果】本発明の多層膜は膜が緻密であるとともに硬くて傷つきにくく、長期間高温多湿の環境下に放置しても、電子線の照射を長時間受けても光学学な性質がほとんど変化しない。
請求項（抜粋）：
結晶性のTa酸化物を含む層を少なくとも1層有する多層膜。
IPC (4件)：
G02B 1/10
, C23C 14/08
, C23C 14/32
, G02B 5/28
