特許

J-GLOBAL ID：200903026424604849

透過電子顕微鏡

発明者： 細川 史生
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 菅井 英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-169791
公開番号（公開出願番号）：特開2001-006593
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】透過電子顕微鏡において球面収差を補正する。【解決手段】照射レンズ2と補助照射レンズ3は、試料上の電流密度によらず、電子回折が常に固定された位置に形成されるように連動制御される。この電子回折が形成される位置には対物レンズ4によって6極子場10が形成され、この6極子場10と共役に6極子コイル14が配置される。6極子場10と6極子コイル14との間にはダブレットレンズ11が配置される。対物レンズ4は無限遠結像である。球面収差の補正に関しては、6極子場10の作用は無視でき、6極子コイル14の強度及びその磁場の光軸方向長さを最適に設計することで球面収差を補正できる。また、6極子場10で導入されたプライマリな効果は、3回対称なので6極子コイル14において相殺される。

請求項（抜粋）：

試料上の電流密度によらず、電子回折のクロスオーバーが対物レンズの後焦点面に常に固定されて形成されるように連動して制御される照射レンズ及び補助照射レンズと、対物レンズと、対物レンズによって形成される6極子場であって、その磁場の中心が後焦点面に一致するように形成される6極子場と、その磁場の中心が、前記6極子場の磁場の中心である後焦点面と共役な位置に配置された3回対称の磁場を生じる多極子コイルと、前記6極子場と、前記多極子コイルとの間に配置され、前記6極子場の磁場の中心である後焦点面に形成された電子回折を、前記多極子コイルの磁場の中心の位置に移すダブレットレンズとを備えることを特徴とする透過電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/141 ,  H01J 37/153

FI (2件)：

H01J 37/141 Z ,  H01J 37/153 A

Fターム (5件)：

5C033DD02 ,  5C033DD04 ,  5C033DD07 ,  5C033DE03 ,  5C033HH05