特許

J-GLOBAL ID：200903026425062250

ガス供給方法及び装置、鏡筒、光学装置、露光装置及び方法

発明者： 青木 貴史 ,  木内 徹
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-363357
公開番号（公開出願番号）：特開2003-163157
出願日： 2001年11月28日
公開日（公表日）： 2003年06月06日
要約：

【要約】【課題】 ガスの通路を作業性良く容易に構築できることができ、密閉室内に対してガスを安定して供給し、密閉室内を前記ガスで素早く満たすことができるガス供給方法及び装置、これを備えた露光方法及び装置を提供する。【解決手段】 鏡筒PK内に形成された密閉室Hに不活性ガスを供給するガス供給装置Sは、鏡筒PKの壁部の内部に形成され、密閉室Hに不活性ガスを供給する供給通路10と、供給通路10とは異なる鏡筒PKの壁部の内部に形成され、密閉室H内の気体を排気する排気通路20とを備えている。

請求項（抜粋）：

密閉室内にガスを供給するガス供給方法において、前記密閉室を構成する壁部の内部に形成された供給通路を介して前記ガスを密閉室内に供給するとともに、前記密閉室内の気体を排気通路を介して排気することを特徴とするガス供給方法。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G02B 7/02 ,  G02B 7/04 ,  G02B 13/24 ,  G03F 7/20 502

FI (9件)：

G02B 7/02 A ,  G02B 7/02 E ,  G02B 7/02 H ,  G02B 7/02 Z ,  G02B 13/24 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/30 516 F ,  H01L 21/30 515 D ,  G02B 7/04 E

Fターム (25件)：

2H044AA20 ,  2H044AE01 ,  2H044AG01 ,  2H044AJ02 ,  2H044AJ04 ,  2H044AJ06 ,  2H044AJ07 ,  2H044BE01 ,  2H087KA21 ,  2H087NA04 ,  2H087UA09 ,  2H097CA13 ,  2H097GB00 ,  2H097LA10 ,  5F046AA22 ,  5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CA08 ,  5F046CB02 ,  5F046CB12 ,  5F046CB20 ,  5F046CB23 ,  5F046CB24 ,  5F046DA27 ,  5F046DB03