特許

J-GLOBAL ID：200903026428288089

横流ファン・カットオフ組立体及び放電レーザの振動制御

発明者： ホフマン トーマス ,  ハーウィー ジェイムス ケイ ,  シャノン ロバート エイ ,  ウジャドウスキ リチャード シー ,  ワトソン トム エー ,  ウェブ アール カイル
出願人/特許権者： サイマー, インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外9名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-568152
公開番号（公開出願番号）：特表2002-524861
出願日： 1999年08月04日
公開日（公表日）： 2002年08月06日
要約：

【要約】レーザ発生ガス(108 )混合物を再循環させる横流ファン(140 )・カットオフ組立体が、端から端まで円周方向位置が段階的に変化する羽根部材(144 )及び(又は)テーパしたアノード組立体(120 )を有する。羽根部材(144 )の数は、一定であっても可変であってもよい。羽根部材(144 )の円周方向位置は、単調に又は逆にシフトできる。ファンの固有振動数を制御するためにハブ部材(212 )の数及び配設場所を最適に選択することにより羽根部材(144 )を補剛する。横流ファンの製造方法は、単一ブロックからの鋳造及び機械加工工程を含む。一体構造体を代表的には電子ビーム溶接により互いに接合することができる。鋳造工程、溶接工程及び機械加工工程の実施により汚染物が別途生じるということはない。製造された横流ファンは、高い機械的剛性、厳密な許容誤差及び低汚染物濃度を有する。羽根部材(144 )を翼形に形成するのがよい。

請求項（抜粋）：

横流ファン・カットオフ組立体を含む放電レーザ装置であって、前記横流ファン・カットオフ組立体は、 レーザ発生ガス混合物を再循環させるよう構成された横流ファンと、カットオフ部材とを有し、 前記横流ファンは、 第1の端及び前記第1の端と反対側の第2の端を備えた回転軸線と、 前記回転軸線と実質的に同心状の周縁部と、 前記周縁部に近接した状態で、前記第1の端と前記第2の端との間で前記回転軸線に実質的に平行に延びる複数の羽根部材とを有し、 前記カットオフ部材は、 定位置に固定されていて、前記周縁部の一部に近接した状態で、前記回転軸線に対して斜めに差し向けられているテーパした縁部を有していることを特徴とする放電レーザ装置。

IPC (2件)：

H01S 3/036 ,  H01S 3/225

FI (2件)：

H01S 3/03 J ,  H01S 3/223 E

Fターム (6件)：

5F071AA06 ,  5F071CC03 ,  5F071DD08 ,  5F071EE04 ,  5F071FF09 ,  5F071JJ05