特許
J-GLOBAL ID：200903026442198319
研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-002954
公開番号（公開出願番号）：特開平6-206159
出願日： 1993年01月12日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：
【要約】【構成】 公転駆動装置25により両支持部材11,12を互いに逆回転させて縦軸40を公転軸心10の周りで公転A,aさせ、自転駆動装置45により縦軸40を自転軸心42の周りで自転Bさせ得る。被研磨物78を貫装した保持キャリア60は横移動Cし、横移動Cにより変位した軸心を中心として回転Dし得る。上下の研磨体53,54を公転軸心10に沿って移動させ被研磨物78の両面に当接させて研磨を行え、その際に、研磨体53,54の公転A,aならびに自転Bと、被研磨物78の横移動Cならびに回転Dとの複合移動により、被研磨物78の両面に対する研磨体53,54群の当接は両面全域で均一状に行える。【効果】 複数の研磨体を公転・自転させる形式でありながら、被研磨物の表裏両面に対する研磨を、同時に、かつ常に両面全域を均一にして充分に行える。
請求項（抜粋）：
公転軸心の周りで回転自在な上下一対の支持部材と、これら支持部材を互いに逆方向に回転させる公転駆動装置を設けるとともに、両支持部材を相対的に接近離間自在に構成し、両支持部材に、前記公転軸心に沿った自転軸心の周りで回転自在な複数の縦軸を設け、各縦軸に連動する自転駆動装置を設けるとともに、各縦軸の上下で対向する端部に研磨体を取り付け、両支持部材間に、被研磨物を貫装自在な保持キャリアを配設するとともに、この保持キャリアを自転ならびに横方向移動自在に構成したことを特徴とする研磨装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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