特許
J-GLOBAL ID：200903026443416719
ガラス基板の位置合わせ方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-201856
公開番号（公開出願番号）：特開平6-026816
出願日： 1992年07月07日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】 カラーフィルタのガラス基板に設定され、塗料のプリントのために屈曲したマーク線を有する+形の基板マークBを、マスク板に設定された#形のマスクマークMに対して最適な状態に位置合わせする。【構成】 露光装置のCCDX,CCDY に対して、マスク板1とガラス基板2とをともにステップ移動し、基板マークBの、塗料のプリントにより屈曲したマーク線B1,B2 と、この各マーク線にそれぞれ対応し、マスクマークMの2組の平行な2本のマーク線のM1 またはM2 (M3 またはM4)との間隔を、マーク線B1,B2 の全範囲に亘ってCCDセンサによりそれぞれ測定して平均値を算出する。この平均値より#形の中心に対するガラス基板2の移動距離を求めて移動し、マスクマークMに対して基板マークBが最適な状態に位置合わせされる。【効果】 ガラス基板に対するマスク板の各画素が位置ズレを最小として良好に露光される。
請求項（抜粋）：
マスク板に設けた#形のマスクマークに対して、被露光のガラス基板に+形の基板マークを設け、該各マークの反射光をCCDセンサにより受光し、該ガラス基板を移動して前記+形と#形のそれぞれの中心を位置合わせする露光装置において、前記CCDセンサに対して前記マスク板とガラス基板とをともにステップ移動し、前記+形を構成し、塗料のプリントにより屈曲した各マーク線と、該各マーク線にそれぞれ対応し、前記#形を構成する平行な2本のマーク線のいずれか一方との間隔を、前記+形の各マーク線の全範囲に亘って、前記CCDセンサによりそれぞれ測定して平均値を算出し、該平均値より前記#形の中心に対する前記ガラス基板の移動距離を求めて移動し、前記マスクマークに対して前記屈曲したマーク線を有する基板マークを位置合わせすることを特徴とする、ガラス基板の位置合わせ方法。
IPC (4件)：
G01B 11/00
, G02B 5/20 101
, G03F 9/00
, G05D 3/12
