特許

J-GLOBAL ID：200903026446530083

アクティブマトリクス型表示装置の基板修正装置、基板修正対象絞り込み方法および基板修正効率向上プログラム

発明者： 水野 博昭 ,  土肥 徹也
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-292411
公開番号（公開出願番号）：特開2003-098547
出願日： 2001年09月25日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】【課題】 アクティブマトリクス型表示装置の製造途中で行われる基板修正において、修正箇所をより絞り込んで修正効率を向上させる。【解決手段】 バスライン抵抗装置もしくは電気的特性検査装置4、および外観検査による欠陥検査装置3など、複数種類の検査装置から欠陥位置データを取得して、照合部9にて照合することによって、修正対象をより絞り込んだデータを作成する。バスライン抵抗または絵素の電気的特性のみによって修正対象を絞り込む従来技術に比べて、欠陥修正効率を向上させることができる。さらに、コンピュータまたはワークステーションによって修正対象をより絞り込んだデータを作成し、修正装置にダウンロードすることによって、従来から用いられている修正装置を利用して、表示装置の欠陥修正効率を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

表示媒体を挟んで対向配置される一対の基板のうちの一方の基板の表面に、複数のデータ信号線と複数の走査信号線とが互いに交差して設けられ、それぞれ相互に隣り合う一対のデータ信号線と一対の走査信号線とによって囲まれる領域のそれぞれに、アクティブ素子と該アクティブ素子を介して該データ信号線および該走査信号線に接続される絵素とが配置されるアクティブマトリクス型表示装置を製造する際に、該基板の欠陥を修正するために用いられる装置であって、複数種類の検査装置から該基板上の欠陥位置データを取得し、該複数種類の検査装置からの欠陥位置データを互いに照合して修正対象を絞り込むデータ処理部と、該データ処理部のデータに基づいて、修正対象部への修正を行う修正部とを備えるアクティブマトリクス型表示装置の基板修正装置。

IPC (8件)：

G02F 1/1368 ,  G01M 11/00 ,  G01R 31/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 352 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/35 ,  G01N 21/958

FI (8件)：

G02F 1/1368 ,  G01M 11/00 T ,  G01R 31/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 352 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/35 ,  G01N 21/958

Fターム (50件)：

2G036AA25 ,  2G036AA28 ,  2G036BA33 ,  2G036BB12 ,  2G036CA01 ,  2G036CA02 ,  2G036CA07 ,  2G036CA12 ,  2G051AA73 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051FA10 ,  2G086EE10 ,  2H088FA11 ,  2H088FA13 ,  2H088FA14 ,  2H088FA30 ,  2H088MA20 ,  2H092JB01 ,  2H092JB11 ,  2H092JB21 ,  2H092JB41 ,  2H092JB51 ,  2H092JB61 ,  2H092KB01 ,  2H092KB11 ,  2H092MA35 ,  2H092NA30 ,  2H092PA01 ,  2H092PA06 ,  5C094AA41 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094GB10 ,  5G435AA17 ,  5G435AA19 ,  5G435BB12 ,  5G435CC09 ,  5G435KK05 ,  5G435KK09 ,  5G435KK10