特許
J-GLOBAL ID：200903026451556520
薄膜コンデンサ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-209563
公開番号（公開出願番号）：特開平5-047588
出願日： 1991年08月21日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：
【要約】【目的】 薄型で、良好なコンデンサ特性を有することができ、また、容易に多種多様な特性の薄膜コンデンサを製造できる薄膜コンデンサ及びその製造方法を提供する。【構成】 ベース2上に蒸着により電極3aを形成する第一の工程と、直前の工程において形成した電極上に複数のモノマーからなる高分子重合体を誘電体として蒸着重合法により形成する第二の工程と、この第二の工程において形成した誘電体上に直前の工程により形成した電極と対する電極を蒸着により形成する第三の工程とを備え、上記第一の工程の後に上記第二の工程と上記第三の工程とを少なくとも1回以上行ない薄膜コンデンサ1を形成する。
請求項（抜粋）：
蒸着により形成した対向電極間に、蒸着重合法により形成した複数のモノマーからなる高分子重合体を誘電体として有することを特徴とする薄膜コンデンサ。
IPC (2件)：
H01G 4/06 102
, H01G 13/00 391
