特許
J-GLOBAL ID：200903026453227035
カラーフィルタの自動欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-163904
公開番号（公開出願番号）：特開平6-058839
出願日： 1993年06月08日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：
【要約】【目的】 大量の演算処理を必要とせずに、かつカラーフィルタのあらゆる種類の欠陥を自動的に正確に検出する。【構成】 光源1からの照射光のカラーフィルタ5の透過光を測光絞り8,11でカラーフィルタ5の1画素の整数倍に制限し、制限された透過光を受光素子9,12で検出し、パソコンでデータ処理する。処理しなければならないデータ数を激減させ、パソコンのみにより制御及びデータ処理が可能となり、ぼけやむらを含むカラーフィルタ5のすべての欠陥を精度良く検出できる。
請求項（抜粋）：
空間的な赤、緑、青の周期的繰り返し構造を有するカラーフィルタに光を照射する光源と、前記カラーフィルタからの光を検出する検出手段と、この検出手段からの出力信号を演算処理する処理手段とを備えたカラーフィルタの自動欠陥検査装置において、前記光源からの照射光の前記カラーフィルタの透過光を検出するように前記検出手段を配置するとともに、前記検出手段に入射する透過光の範囲を前記カラーフィルタの前記空間的な赤、緑、青の周期的繰り返し構造の整数倍に制限する測光範囲指定手段を設けたことを特徴とするカラーフィルタの自動欠陥検査装置。
IPC (4件)：
G01M 11/00
, G01B 11/30
, G01N 21/88
, G02B 5/20
