特許

J-GLOBAL ID：200903026456593440

基板運搬具

発明者： 四元 正 ,  井上 清敬 ,  六車 輝美
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-321014
公開番号（公開出願番号）：特開平11-154700
出願日： 1997年11月21日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：

【要約】【課題】 運搬中の基板の飛び出しの虞がなく、基板とキャリア等との擦れによるダスト発生を抑制した基板運搬具を提供する。【解決手段】 複数枚の半導体ウェハ38を、主面が所定間隔で平行となるようキャリア27に収納すると共に、キャリア27をキャリア台23上に載置してカバー28で覆い運搬するようにしたもので、傾斜機構24のキャリア傾斜板25上に載せられたキャリア27は、カバー28を被せることでカバー28に設けた作動突起33によりクランク部材31が回動し、キャリア傾斜板25が傾斜してキャリア台23上に傾斜支持され、キャリア27内に収納された半導体ウェハ38が5°〜10°の角度の傾斜状態に保持されて運搬されることになるため、半導体ウェハ38には自重により常に傾斜下方向への力が作用し、運搬時の振動で簡単に動いてしまうことがなくなる。

請求項（抜粋）：

複数枚の基板を、該基板の主面が所定間隔で平行となるようキャリアに収納すると共に、前記キャリアをキャリア台上に載置しカバーで覆い運搬する基板運搬具において、前記キャリアが、傾斜機構により前記キャリア台上に傾斜支持され、前記基板が傾斜状態で収納されていることを特徴とする基板運搬具。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/00 ,  B65D 85/86 ,  B65G 49/07

FI (4件)：

H01L 21/68 T ,  B65D 85/00 H ,  B65G 49/07 L ,  B65D 85/38 R

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 密封容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-303008   出願人：株式会社東芝
• 密封容器装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-114918   出願人：株式会社東芝