特許

J-GLOBAL ID：200903026468313019

試料の分離装置及びその方法並びに基板の製造方法

発明者： 柳田 一隆 ,  坂口 清文 ,  近江 和明 ,  米原 隆夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-361012
公開番号（公開出願番号）：特開平11-195568
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：

【要約】【課題】多孔質層を有する基板を該多孔質層で分離する装置を提供する。【解決手段】多孔質層101bを有する貼り合わせ基板101を基板保持部120及び150により回転させながら支持する。ノズル102から高速、高圧の水(ジェット)を噴射し、そのジェットを貼り合わせ基板101に挟入させる。基板保持部120,150は、貼り合わせ基板101が中心部付近が、内部に注入される水の圧力により膨張し得るように該貼り合わせ基板101を保持する。これにより、貼り合わせ基板101に対して内側から外側に向かう力(分離力)を効率的に作用させる。

請求項（抜粋）：

内部に脆弱な層を有する板状の試料を該脆弱な層で分離する分離装置であって、試料に向けて流体を噴射する噴射部と、試料を両側から挟むようにして保持する対向する一対の保持部と、を備え、前記一対の保持部は、前記噴射部から噴射され試料内部に注入された流体の圧力により該試料の中央部付近が膨張し得るように該試料を保持することを特徴とする分離装置。

IPC (3件)：

H01L 21/02 ,  H01L 21/306 ,  H01L 27/12

FI (3件)：

H01L 21/02 Z ,  H01L 27/12 B ,  H01L 21/306 C