特許
J-GLOBAL ID：200903026474049927
X線フレネルレンズの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-245144
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094898
出願日： 1992年09月14日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】 X線フレネルレンズの製造方法を確立する。【構成】 支持膜3上の金属薄膜2に塗布したフォトレジスト1に電子線またはイオンビーム4の照射処理および現像処理によって三次元形状を形成し、このフォトレジスト1を金属薄膜2と共にエッチングする手順により、フォトレジスト1の三次元形状を金属薄膜2に転写してX線フレネルレンズを製造する。
請求項（抜粋）：
支持膜上の金属薄膜に塗布したフォトレジストに電子線またはイオンビームの照射処理および現像処理によって三次元形状を形成し、このフォトレジストを金属薄膜と共にエッチングし、前記フォトレジストの三次元形状を金属薄膜に転写することを特徴とするX線フレネルレンズの製造方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
