特許
J-GLOBAL ID：200903026479380206
半導体レーザの検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-107440
公開番号（公開出願番号）：特開平5-302956
出願日： 1992年04月27日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：
【要約】【目的】 複数のレーザチップが連なったバー状態の半導体レーザの検索を短時間で行なえる。【構成】 バー状態の半導体レーザ1を粘着力のある表面を有する導電性薄膜2上に所定間隔で配列し、前記半導体レーザ1が所定位置に送り出されたとき、各レーザチップにプローバ4により電流を注入して出射端面よりレーザ光を出射せしめ、このレーザ光を受光素子5で受光して前記半導体レーザ1の検査を行い、導電性薄膜2を自動送り用ローラ3によって移動させることにより、検査の終了した半導体レーザ1を直ちに検査位置より退避させるとともに、次の半導体レーザ1が検査位置に自動搬送されることを特徴としている。
請求項（抜粋）：
複数のレーザチップをバー状態に連結させた半導体レーザの前記各レーザチップにプローバにより電流を注入し、前記レーザチップから出射されるレーザ光を受光素子により受光して良否を判定する半導体レーザの検査装置において、前記バー状態の半導体レーザを粘着力のある表面を有する導電性薄膜上に所定間隔で並列に配置し、前記導電性薄膜を回転機構を備えたローラにより自動送りする構成としたことを特徴とする半導体レーザの検査装置。
IPC (2件)：
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