特許

J-GLOBAL ID：200903026480220581

電子源の製造装置及び製造方法

発明者： 武田 俊彦 ,  田村 美樹 ,  神代 和浩 ,  山本 敬介 ,  織田 仁 ,  山下 眞孝 ,  神尾 優 ,  佐藤 安栄 ,  川崎 秀司
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-247930
公開番号（公開出願番号）：特開2000-311594
出願日： 1999年09月01日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】【課題】 小型化と操作性の簡易化が可能な電子源の製造装置を提供する。【解決手段】 導電体が形成された基板を支持する支持体と、気体の導入口及び気体の排気口を有し、前記基板面の一部の領域を覆う容器と、前記気体の導入口に接続された、前記容器内に気体を導入する手段と、前記気体の排気口に接続された、前記容器内を排気する手段と、前記導電体に電圧を印加する手段と、を備える。

請求項（抜粋）：

導電体が形成された基板を支持する支持体と、気体の導入口及び気体の排気口を有し、前記基板面の一部の領域を覆う容器と、前記気体の導入口に接続された、前記容器内に気体を導入する手段と、前記気体の排気口に接続された、前記容器内を排気する手段と、前記導電体に電圧を印加する手段と、を備えることを特徴とする電子源の製造装置。