走査トンネル顕微鏡探針の作製方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：清水守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-338894
公開番号（公開出願番号）：特開2000-346781
出願日： 1997年12月09日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】【課題】探針の汚染を防ぎ、STM装置に改良を加えることなく、STMの機能を使用して、しかも、高い分解能を得ることができる走査トンネル顕微鏡探針の作製方法を提供する。【解決手段】走査トンネル顕微鏡探針の作製方法において、真空チャンバー内に、タングステン探針素材1と走査トンネル顕微鏡サンプル側基板2とを対向させ、前記タングステン探針素材1と走査トンネル顕微鏡サンプル側基板2との間隔を0.5〜2Åに調整して10Vの直流電圧を印加し、トンネル電流6を流して加熱し、前記タングステン探針素材1の先端の原子を蒸発させ、前記探針素材1と走査トンネル顕微鏡サンプル側基板2との間隔を10〜20Åになるまで原子の蒸発を続けて、最後に前記タングステン探針素材1の先端に原子1個を止め、前記印加電圧を切り、冷却する。

請求項（抜粋）：

走査トンネル顕微鏡探針の作製方法において、(a)走査トンネル顕微鏡の真空チャンバー内に、探針素材と走査トンネル顕微鏡サンプルとを対向させ、(b)前記探針素材と走査トンネル顕微鏡サンプルとの間隔を第1の距離に調整して所定の電圧を印加し、(c)前記探針素材の先端の原子を蒸発させると共に、トンネル電流を流して加熱し、(d)前記探針素材と走査トンネル顕微鏡サンプルとの間隔が、第2の距離になるまで蒸発を行い、(e)前記探針素材の先端に拡散によって探針素材の原子を集め、最後に前記探針素材の先端に1個の原子を止め、(f)前記印加電圧を切り、冷却することを特徴とする走査トンネル顕微鏡探針の作製方法。

IPC (2件)：

G01N 13/12 , G01B 7/34

FI (2件)：

G01N 37/00 C , G01B 7/34 Z

Fターム (9件)：

2F063AA43 , 2F063CA31 , 2F063DA01 , 2F063DA05 , 2F063EA16 , 2F063EB05 , 2F063EB23 , 2F063EB27 , 2F063FA07

引用特許：

出願人引用 (10件)

走査プローブ顕微鏡の使用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-104855 出願人：三菱電機株式会社, 菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社
特開昭63-265101
特公平6-040001

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