特許
J-GLOBAL ID:200903026490058936

静圧気体軸受及びこれを用いたスピンドル装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 江原 省吾 (外5名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-109288
公開番号(公開出願番号):特開2003-301841
出願日: 2002年04月11日
公開日(公表日): 2003年10月24日
要約:
【要約】【課題】 従来と同等の静剛性および圧縮気体消費量を確保しながら、静圧気体軸受の振れ精度を向上させることにある。【解決手段】 主軸1と、複数個の給気孔31a〜31dを円周方向等間隔に配置した給気列41a〜41dを軸方向に複数列設けたジャーナル軸受部7,8とを備え、その給気列41a〜41dの給気孔31a〜31dから前記ジャーナル軸受部7,8に圧縮気体を噴出させることにより、その主軸1を非接触状態で回転自在に径方向に支持する静圧気体軸受において、給気列41bの給気孔31bを、給気列41aの給気孔31aの円周方向中間位置に配置し、また、給気列41dの給気孔31dを、給気列41cの給気孔31cの円周方向中間位置に配置する。
請求項(抜粋):
主軸と、複数個の給気孔が円周方向等間隔に配置された給気列を軸方向に複数列設けたジャーナル軸受部とを備え、前記給気列の給気孔から圧縮気体を噴出させることにより前記主軸を非接触状態で回転自在に径方向に支持する静圧気体軸受において、前記給気列の給気孔を、各給気列ごとにずらして隣接する給気列の給気孔の円周方向中間位置に配したことを特徴とする静圧気体軸受。
IPC (3件):
F16C 32/06 ,  B23Q 1/38 ,  B23B 19/02
FI (3件):
F16C 32/06 Z ,  B23B 19/02 B ,  B23Q 1/26 E
Fターム (13件):
3C045FD15 ,  3C048CC07 ,  3C048DD13 ,  3C048EE10 ,  3J102AA02 ,  3J102BA03 ,  3J102BA17 ,  3J102CA11 ,  3J102EA02 ,  3J102EA06 ,  3J102EA13 ,  3J102EA30 ,  3J102GA07
引用特許:
審査官引用 (4件)
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