加速度センサ及び傾斜検出方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯塚雄二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-033016
公開番号（公開出願番号）：特開2004-264053
出願日： 2003年02月10日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：

【課題】機器の傾斜角の検出精度を向上させること。【解決手段】本発明の加速度センサは、所定物品の基本姿勢からの傾斜変位を検出する加速度センサにおいて、傾斜変位を検出する1軸又は交差する2軸の検出軸を含む検出面を有するセンサチップを備える。前記センサチップの前記検出面と直交する軸が、前記基本姿勢時の前記物品の基準面と平行になるように配置される。そして、前記センサチップは、前記基準面の傾斜変位に応じた出力信号を得る。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

所定物品の基本姿勢からの傾斜変位を検出する加速度センサにおいて、傾斜変位を検出する1軸又は交差する2軸の検出軸を含む検出面を有するセンサチップを備え、前記センサチップの前記検出面と直交する軸が、前記基本姿勢時の前記物品の基準面と平行になるように配置され、前記センサチップは、前記基準面の傾斜変位に応じた出力信号を得ることを特徴とする加速度センサ。

IPC (4件)：

G01C9/06 , G01C9/08 , G01P15/12 , G01P15/18

FI (4件)：

G01C9/06 R , G01C9/08 , G01P15/12 D , G01P15/00 K

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-105255
半導体加速度センサの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-294245 出願人：株式会社フジクラ
特開昭63-266359

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