特許

J-GLOBAL ID：200903026505504733

半導体デバイスの製造方法

発明者： ピエール、エイチ.ベルリー ,  ジュリアーン、シュミット ,  アンドレアス、エイチ.モントリー
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (1件)： 吉武 賢次 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-545357
公開番号（公開出願番号）：特表2003-517209
出願日： 2000年12月01日
公開日（公表日）： 2003年05月20日
要約：

【要約】ゲート構造21を備えるトランジスタを有する表面2に設けられた半導体本体1を備える半導体デバイスの製造方法において、ゲート構造21の領域を規定するパターン化層10が塗布される。引き続き、パターン化層10に隣接した誘電体層18の厚みが、パターン化層10の高さにほぼ等しいか、またはそれよりも大きくなるように、誘電体層18が塗布され、この誘電体層18は、パターン化層10が露出されるまで、その厚みの一部にわたって除去される。その後、パターン化層10に材料除去処理を施すことにより、誘電体層18にレセス19が形成され、誘電体層にコンタクトウィンドウ28,29が設けられる。レセス19とコンタクトウィンドウ28,29を充填する導電層30が塗布され、この導電層30は、引き続き、ゲート構造21と、半導体本体1の表面2との電気コンタクトを形成するコンタクト構造26,27とに形作られる。

請求項（抜粋）：

ゲート構造を備えるトランジスタを有する表面に設けられた半導体本体を備える半導体デバイスの製造方法により、前記ゲート構造の領域を限定するパターン化層が付加され、前記パターン化層に隣接した誘電体層の厚みが、前記パターン化層の高さにほぼ等しいか、またはそれよりも大きくなるように、前記誘電体層が付加され、前記誘電体層は、前記パターン化層が露出されるまで、その厚みの一部にわたって除去され、その後、前記パターン化層に材料除去処理を施すことにより、前記誘電体層に凹部が形成され、前記凹部を充填する導電層が付加され、前記導電層はゲート構造に形成される半導体デバイスの製造方法において、前記導電層を付加する前に、前記誘電体層にコンタクトウィンドウが設けられ、前記コンタクトウィンドウは導電層で充填され、前記導電層は、前記半導体本体の表面と電気コンタクトを形成するコンタクト構造に局所的に形成されることを特徴とする半導体デバイスの製造方法。

IPC (7件)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/336 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/092 ,  H01L 29/417 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49

FI (5件)：

H01L 29/78 301 G ,  H01L 29/78 301 P ,  H01L 29/58 G ,  H01L 29/50 M ,  H01L 27/08 321 D

Fターム (93件)：

4M104AA01 ,  4M104BB01 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB36 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD03 ,  4M104DD07 ,  4M104DD16 ,  4M104DD17 ,  4M104DD19 ,  4M104DD75 ,  4M104DD94 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  5F048AB04 ,  5F048AC03 ,  5F048BA14 ,  5F048BB01 ,  5F048BB04 ,  5F048BB05 ,  5F048BB08 ,  5F048BB09 ,  5F048BB13 ,  5F048BC06 ,  5F048BD01 ,  5F048BD04 ,  5F048BF06 ,  5F048BF11 ,  5F048DA25 ,  5F048DA27 ,  5F048DA30 ,  5F140AA00 ,  5F140AB03 ,  5F140BA01 ,  5F140BD06 ,  5F140BD07 ,  5F140BE10 ,  5F140BF01 ,  5F140BF04 ,  5F140BF05 ,  5F140BF06 ,  5F140BF07 ,  5F140BF10 ,  5F140BF11 ,  5F140BF15 ,  5F140BF17 ,  5F140BF59 ,  5F140BF60 ,  5F140BG03 ,  5F140BG04 ,  5F140BG09 ,  5F140BG11 ,  5F140BG12 ,  5F140BG13 ,  5F140BG14 ,  5F140BG36 ,  5F140BG40 ,  5F140BG51 ,  5F140BG53 ,  5F140BH14 ,  5F140BH40 ,  5F140BJ01 ,  5F140BJ04 ,  5F140BJ05 ,  5F140BJ06 ,  5F140BJ07 ,  5F140BJ08 ,  5F140BJ10 ,  5F140BJ11 ,  5F140BJ15 ,  5F140BJ16 ,  5F140BJ17 ,  5F140BJ20 ,  5F140BJ27 ,  5F140BK02 ,  5F140BK05 ,  5F140BK13 ,  5F140BK21 ,  5F140BK25 ,  5F140CB01 ,  5F140CB04 ,  5F140CB08 ,  5F140CE07 ,  5F140CE08 ,  5F140CF00 ,  5F140CF05