特許

J-GLOBAL ID：200903026506449043

耐酸化性に優れたボンディングツール

発明者： 西川 正寿 ,  杉崎 康昭 ,  本西 英
出願人/特許権者： 神鋼コベルコツール株式会社
代理人 (1件)： 小谷 悦司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-249701
公開番号（公開出願番号）：特開平9-092687
出願日： 1995年09月27日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】 耐酸化性に優れたボンディングツールを提供することにあり、必要により従来のボンディングツールよりも耐酸化性以外の性能を更に向上させたボンディングツールを提供する。【解決手段】 基体部とシャンク部からなるボンディングツールにおいて、シャンク部を構成する母材の全面または一部に、(Alx Ti1-x )N(但し、0.25≦x≦0.8)で示される化学組成からなる皮膜を形成したものである。

請求項（抜粋）：

基体部とシャンク部を接合してなるボンディングツールにおいて、シャンク部を構成する母材の全面または一部に、(Alx Ti1-x )N(但し、0.25≦x≦0.8)で示される化学組成からなる皮膜が形成されたものであることを特徴とする耐酸化性に優れたボンディングツール。

IPC (2件)：

H01L 21/60 311 ,  H01L 21/603

FI (2件)：

H01L 21/60 311 T ,  H01L 21/603 C