特許
J-GLOBAL ID：200903026510226636
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-226175
公開番号（公開出願番号）：特開平10-055069
出願日： 1996年08月09日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：
【要約】【課題】 特に遠紫外線の露光により発生した酸の作用によって、アルカリ現像液に対する溶解性が増大する現象を利用した化学増幅型レジストとして、遠紫外線に対する透明性が高く、かつ基板への接着性が優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)分子鎖の少なくとも一方の末端に下記構造式-X-COOH(式中、Xは-R1-、-S-R1-、-NH-R1- または-O-R1-で表される2価の基を示し、R1は置換基を有することができる炭素数1〜20の2価の炭化水素基を示す。)で表される基を有し、かつ酸の作用によってアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂、および(B)感放射線性酸発生剤を含有する。
請求項（抜粋）：
(A)分子鎖の少なくとも一方の末端に下記構造式-X-COOH(式中、Xは-R1-、-S-R1-、-NH-R1- または-O-R1-で表される2価の基を示し、R1は置換基を有することができる炭素数1〜20の2価の炭化水素基を示す。)で表される基を有し、かつ酸の作用によってアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂、および(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/039 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/033
, H01L 21/027
G03F 7/039 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/033
, H01L 21/30 502 R
