電子顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-298410
公開番号（公開出願番号）：特開平11-135046
出願日： 1997年10月30日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】像観察又は撮影に必要な試料領域だけに必要なビーム電流で電子線照射を行い、余分な電子線照射による試料ダメージを低減することのできる透過型電子顕微鏡を提供する。【解決手段】少なくとも2段の照射レンズと電子線絞りを含む照射レンズ系の各レンズの励磁電流と試料の照射電子線密度、試料面上での電子線照射領域の大きさの関係をテーブルや数式の形で記憶しておき、例えば照射電子密度が一定となる条件で拡大倍率を変えたいとき、前記関係から照射レンズ系の各レンズの励磁条件を探索して設定する。また、試料面64上で電子線照射された領域の軌跡65を表示装置に表示する。

請求項（抜粋）：

電子線源と、少なくとも2段の照射レンズと、前記電子線源から放出された電子線の一部を遮蔽することのできる絞りと、前記照射レンズを制御するレンズ制御手段とを有し、前記照射レンズによって集束され前記絞りによって制限された電子線を試料に照射する電子顕微鏡において、前記照射レンズ制御手段は、試料上の電子線照射領域の大きさを略一定としたままで照射電子線密度を可変する機能を有することを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/04 , H01J 37/21

FI (2件)：

H01J 37/04 A , H01J 37/21 A

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平1-161646
電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-053903 出願人：日本電子株式会社
電子ビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-063927 出願人：日本電子株式会社

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