特許
J-GLOBAL ID：200903026518171652
イオン源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-325036
公開番号（公開出願番号）：特開2001-143629
出願日： 1999年11月16日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：
【要約】【課題】放電容器天板の構造を簡略化するとともに、プラズマの損失を最小限に抑制しイオン生成効率を向上することが本発明の課題である。【解決手段】従来イオン源で設置していた放電容器天板2上のプラズマ閉じこめ用磁石を取り除くとともに、絶縁スペーサー12によって放電容器天板2を放電の陽極である放電容器1から絶縁する構造にする。これによって、放電容器天板2上の構造を簡単化するとともに、磁石がない場合の放電容器天板2上へのプラズマ損失を低減し、イオン生成効率の低下を防止できる。また、放電容器天板2を電位固定するために、放電容器1と放電容器天板2を抵抗13を介して接続する。また、本発明により、イオン生成効率を向上することによってイオンビーム9の大電流化や放電電力の低減によるフィラメントの長寿命化を実現できる。
請求項（抜粋）：
電離を起こしイオンを生成する放電容器と放電容器からイオンを静電的に引き出すため複数枚の電極を有しイオンビームを生成するイオン源において、放電容器の一部分を他の部分から電気的に絶縁できる構造にしたことを特徴とするイオン源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
5C030DD04
, 5C030DD05
, 5C030DE01
, 5C030DG07
, 5C030DG09
