カーボンナノチューブ集合体ならびにそれを用いた電子素子および電子回路

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森下賢樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-273610
公開番号（公開出願番号）：特開2003-081622
出願日： 2001年09月10日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：

【要約】【課題】カーボンナノチューブの集合体を基板に平行な面内に形成し、従来にない新規な特性を有するカーボンナノチューブの構造体を提供するとともに、かかる構造体を回路構成素子として利用する技術を提供するものである。【解決手段】単結晶シリコンからなる基板101の素子形成面に段差を設け、その側壁に膜状の触媒金属102を付着させる。この触媒金属102を起点として、複数のカーボンナノチューブを基板面と平行な方向(基板水平方向)に成長させ、カーボンナノチューブ集合体103を形成する。カーボンナノチューブ集合体103は、複数のカーボンナノチューブが基板面内に複数列、隣接して配置された層状構造を有する。

請求項（抜粋）：

基板表面に設けられたカーボンナノチューブ集合体であって、前記基板表面と平行な方向の軸方位を有する複数のカーボンナノチューブにより構成され、該複数のカーボンナノチューブが略同一の軸方位を有することを特徴とするカーボンナノチューブ集合体。

IPC (8件)：

C01B 31/02 101 , C23C 16/26 , C30B 29/66 , H01C 13/00 , H01G 4/008 , H01L 21/822 , H01L 27/04 , H01L 29/06 601

FI (8件)：

C01B 31/02 101 Z , C23C 16/26 , C30B 29/66 , H01C 13/00 Z , H01L 29/06 601 N , H01G 1/01 , H01L 27/04 C , H01L 27/04 P

Fターム (25件)：

4G046CA02 , 4G077AA03 , 4G077BA02 , 4G077DB16 , 4G077ED04 , 4G077EE05 , 4G077HA06 , 4G077TK04 , 4K030AA09 , 4K030AA14 , 4K030BA27 , 4K030BB01 , 4K030BB12 , 4K030CA04 , 4K030FA01 , 5E082AB01 , 5E082BC40 , 5E082EE01 , 5E082EE13 , 5E082EE28 , 5E082FF01 , 5F038AC05 , 5F038AC17 , 5F038AR07 , 5F038EZ20

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