特許
J-GLOBAL ID：200903026520471132
走査型プロ-ブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-026515
公開番号（公開出願番号）：特開平6-241776
出願日： 1993年02月16日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】探針変位駆動源の極性を正確に認識でき、動作の確実な走査型プロ-ブ顕微鏡を提供することにある。【構成】試料3に対向する探針4と、伸縮の極性を有し探針を変位させるチュ-ブスキャナ6と、このチュ-ブスキャナ6のための制御信号を出力するチュ-ブスキャナ制御回路とを備え、探針4と試料3との間隔を調整しながらトンネル電流を検出する走査型トンネル顕微鏡において、チュ-ブスキャナ6に供給される制御信号VH とトンネル電流を表す信号VT との増減の関係に基づいてチュ-ブスキャナ6の極性を認識する極性認識部21を設けた。
請求項（抜粋）：
試料に対向する探針と、伸縮の極性を有し上記探針を変位させる探針変位駆動源と、この探針変位駆動源のための制御信号を出力する駆動源制御手段とを備え、上記探針と上記試料との間隔を調整しながら物理量を検出する走査型プロ-ブ顕微鏡において、上記探針変位駆動源に供給される制御信号と上記物理量を表す物理量信号との増減の関係に基づいて上記探針変位駆動源の極性を認識する極性認識部を設けたことを特徴とする走査型プロ-ブ顕微鏡。
IPC (2件)：
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