特許
J-GLOBAL ID：200903026532492089
マイクロ波帯用プロービング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-121808
公開番号（公開出願番号）：特開平6-334004
出願日： 1993年05月25日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【目的】 マイクロ波帯プロービング装置を用いたオンウエハテストにて、パッケージ実装時と同様の測定結果を得る。【構成】 RFプローブヘッドの支持プレートに支持棒16を介して、メタルなどの導電体で構成された函型のシールドメタル1を固定し、さらにこれを配線100によってプローブステージ3と電気的に接続し、MMIC2a上をシールドメタル1で覆って電気的特性の測定を行う。
請求項（抜粋）：
複数個のマイクロ波集積回路チップが形成されたウエハを搭載するウエハステージと、所定の上記マイクロ波集積回路にマイクロ波信号を伝達するRFプローブヘッドとを備えたマイクロ波帯用プロービング装置において、上記RFプローブヘッドが上記所定のマイクロ波集積回路の電極パッドに接触した時に、該マイクロ波集積回路上方を覆うグランド電位のシールド体を備えたことを特徴とするマイクロ波帯用プロービング装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/06
, G01R 31/26
