特許
J-GLOBAL ID:200903026532802495

インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 栗原 浩之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-126348
公開番号(公開出願番号):特開平11-314365
出願日: 1998年05月08日
公開日(公表日): 1999年11月16日
要約:
【要約】【課題】 下電極の硬度及び特性を向上し、振動板の変位効率の向上を図ったインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】 ノズル開口に連通する圧力発生室12の一部を構成する弾性膜と、該弾性膜上に設けられた下電極60と、該弾性膜上に形成された圧電体層70と、該圧電体層70の表面に形成された上電極80とを備え、前記圧力発生室12に対向する領域に圧電体能動部320を形成したインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記下電極60が、Pt、Ir、Ni、Fe及びCoからなる群から選択された少なくとも一種から形成され、且つN、C及びPからなる群から選択される少なくとも一種をドープすることにより、下電極が硬くなる。
請求項(抜粋):
ノズル開口に連通する圧力発生室の一部を構成する弾性膜と、該弾性膜上に設けられた下電極と、該下電極上に形成された圧電体層と、該圧電体層の表面に形成された上電極とを備え、前記圧力発生室に対向する領域に圧電体能動部を形成したインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記下電極が、Pt、Ir、Ni、Fe及びCoからなる群から選択された少なくとも一種から形成され、且つN、C及びPからなる群から選択される少なくとも一種をドープしてなることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
IPC (3件):
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (2件):
B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

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