特許
J-GLOBAL ID：200903026533787880
シリカ系被膜形成用塗布液
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 洋子 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-352634
公開番号（公開出願番号）：特開平9-183948
出願日： 1995年12月29日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：
【要約】【課題】 平坦化性に優れるとともに、クラック限界が高く、かつ基板界面での剥れが生じることのない密着性に優れたシリカ系被膜形成用塗布液を提供する。【解決手段】 下記一般式(I)【化1】(式中、R1 は水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、アリール基であり;R2は炭素数1〜4のアルキル基であり;nは0〜2の整数である)で表されるアルコキシシラン化合物の少なくとも1種を有機溶媒中、酸触媒の存在下で加水分解して得られる反応生成物と、(b)シリコーン系界面活性剤を含有してなる、シリカ系被膜形成用塗布液。
請求項（抜粋）：
(a)下記一般式(I)【化1】(式中、R1 は水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、アリール基であり;R2は炭素数1〜4のアルキル基であり;nは0〜2の整数である)で表されるアルコキシシラン化合物の少なくとも1種を有機溶媒中、酸触媒の存在下で加水分解して得られる反応生成物と、(b)シリコーン系界面活性剤を含有してなる、シリカ系被膜形成用塗布液。
引用特許：
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