特許

J-GLOBAL ID：200903026537738329

封着方法

発明者： 萩原 哲 ,  西村 孝司
出願人/特許権者： 東芝硝子株式会社 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-030628
公開番号（公開出願番号）：特開平8-217497
出願日： 1995年02月20日
公開日（公表日）： 1996年08月27日
要約：

【要約】【目的】 簡単な構造、簡潔な工程のもとに真空封着を行うことができる封着方法を提供する。【構成】 第1の容器構成部材と第2の容器構成部材の封着部間に介在させた結晶性封着ガラスを、その結晶化温度450°Cよりも低い420°Cに10-5 Torr(1.33×10-3 パスカル)に減圧した真空加熱炉内で加熱し、この温度を保持温度として60分間保持する。その後、徐冷し固化させることによって封着部間を真空封着して真空容器を形成する。これにより封着部間に介在させた結晶性封着ガラスは、真空中で軟化した際の発泡が抑制され、また十分に結晶化が進むことになり、固化したときに内部に形成される気泡量が少なく、封着部に接着する強度も大きなものとなって、気密性に優れ、かつ接着強度が大きい真空封着を簡単な構造、簡潔な工程のもとに実現することができる。

請求項（抜粋）：

封着部間に介在させた封着用ガラスを、加熱・軟化させた後に固化させて気密に封着する封着方法において、前記封着用ガラスとして結晶性封着ガラスを用いると共に、真空中で前記結晶性封着ガラスの結晶化温度よりも10°C〜30°C低い保持温度に30分以上保持する工程を有することを特徴とする封着方法。

IPC (3件)：

C03C 27/06 ,  B01J 3/00 ,  C03C 8/24

FI (3件)：

C03C 27/06 ,  B01J 3/00 K ,  C03C 8/24