特許

J-GLOBAL ID：200903026538749596

電界発光素子の電極作製方法

発明者： 井上 鉄司 ,  中山 正俊 ,  柴原 正典 ,  中谷 賢司
出願人/特許権者： テイーデイーケイ株式会社
代理人 (1件)： 倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-287255
公開番号（公開出願番号）：特開平5-101889
出願日： 1991年10月08日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：

【要約】【目的】 界発光素子に対する電極の結合力を向上させること。【構成】 有機電界発光素子の電極を作製する方法において、有機発光層、正孔輸送層又は電子輸送層である基体層と、前記基体層の表面側に配置したグリッド電極とを、共に負電位にバイアスし、前記基体層の表面をプラズマ又は逆スパッタした後、空気に露呈することなく引き続いて前記基体層の表面に電極を気相成膜する。【効果】 界発光素子に対する電極の結合力が向上した。

請求項（抜粋）：

有機電界発光素子の電極を作製する方法において、有機発光層、正孔輸送層又は電子輸送層である基体層と、前記基体層の表面側に配置したグリッド電極とを、共に負電位にバイアスし、前記基体層の表面をプラズマ又は逆スパッタした後、空気に露呈することなく引き続いて前記基体層の表面に電極を気相成膜することを特徴とする、有機電界発光素子の電極作製方法。

IPC (4件)：

H05B 33/10 ,  C09K 11/00 ,  G09F 9/30 337 ,  H05B 33/26